气冷 罗茨螺杆真空机组，是以气冷罗茨真空泵为主泵，螺杆真空泵为前级泵的抽气系统，此机组过流部分没有任何液体作工作液，极限压力不受水温影响，对被抽工艺气体不产生二次污染，便于排出气体的回收。

    由于选择了气冷罗茨泵作为主泵，那么整套机组的工作压力范围就十分宽广，可以从几百帕到几万帕；尤其适用于抽气量大，但工作真空却在100mbar以上；用单台螺杆泵不仅抽气量达不到，而且全世界都没有生产那么大抽气量的，此时唯有与三叶气冷罗茨泵串联起来组成机组方可满足此工艺要求；

　　由于主泵及前级泵均采用了干式真空泵，因此气冷罗茨螺杆干泵真空机组具有以下主要特点：

             *  泵腔内无油，对被抽系统无污染，可获得洁净真空。

             *  泵腔内无油，非常容易实现对溶剂的回收。

             *  罗茨泵泵腔全部镀镍层处理，螺杆泵泵腔镀镍磷涂层或PTFE涂层处理，可抽除水蒸汽、溶剂气体及多种腐蚀性介质。

因工作过程中无废油、废水的排放，对环境无污染。

对冷却水的要求较低，对于泵的冷却，普通的循环水即可满足要求，且冷却水量较小。

　　该机组主泵采用了本公司自行研发的ZJQ系列气冷罗茨真空泵，我公司将泵腔与轴承腔的密封进行改进后的ZJQ系列气冷罗茨真空泵在抽除大量水蒸汽及各类溶剂的工艺中泵油不易乳化。

　　前级泵采用了本公司自行研发的DP系列螺杆真空泵，运行稳定可靠，由于在泵腔及齿轮腔之间采用了机械密封，DP系列螺杆真空泵在不充入氮气保护的情况下仍然可以稳定工作。

     气冷罗茨螺杆真空机组是由气冷罗茨泵与螺杆泵串联组成，同时配有管路、阀门、机架及电器控制箱等，当前级螺杆泵工作后，由真空规头及真空继电器来控制罗茨泵起动。由于罗茨泵与螺杆泵转动部件都是不接触件，因此机组具备运转平稳、噪音低、振动小，结构紧凑、占地面积小等优点。 用途： 气冷罗茨螺杆真空机组因节能效果明显，高真空区抽气量大，真空度高 , 是电工、电子镀膜、冶炼、热处理、干燥、蒸馏、制药、化工、等行业理想的抽气设备。特别适用于要求无油蒸汽污染的半导体行业，同时也适用于含有大量水蒸汽及少量粉尘的场合。